Parylene F薄膜介电材料的制备与研究

来源期刊：功能材料2011年第S3期

论文作者：赵宗峰 鲜晓斌 唐贤臣 吉祥波

文章页码：477 - 480

关键词：介电材料;Parylene F薄膜;化学气相沉积;

摘    要：通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数。研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料。