简介概要

化学气相沉积层的技术和应用

来源期刊：稀有金属与硬质合金1999年第1期

论文作者：阎洪

文章页码：3 - 5

关键词：化学气相沉积层;技术;应用;

摘要：介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展，对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍，并展望了化学气相沉积法的发展趋势。

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化学气相沉积层的技术和应用

阎洪

昆明冶金研究院金属材料研究室

摘要：介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展，对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍，并展望了化学气相沉积法的发展趋势。

关键词：化学气相沉积层;技术;应用;

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