MEMS气敏传感器
来源期刊：功能材料2003年第2期
论文作者：徐毓龙 徐爱兰 惠春
关键词：MEMS技术; 牺牲层技术; MEMS气敏传感器;
摘 要：随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
徐毓龙1，徐爱兰1，惠春1
(1.上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030)
摘要:随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.
关键词:MEMS技术; 牺牲层技术; MEMS气敏传感器;
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