碳纳米管气敏传感器的制备与性能研究

来源期刊：功能材料与器件学报2011年第2期

论文作者：商世广 赵玲 李昕 刘君华 赵萍 邢立冬

文章页码：125 - 129

关键词：碳纳米管;气敏传感器;灵敏度;

摘    要：本文采用传统的光刻工艺、丝网印刷技术和烧结工艺在ITO透明导电薄膜上制备出电容式的碳纳米管(CNT)膜气敏传感器,探讨扫描电压、工作频率和各种工艺参数对其性能的影响。光学显微镜测试表明,丝网印刷的CNT膜表面平整、分布均匀。扫描电镜表征显示,在大气中300℃烧结能促使有机粘合剂充分地分解和蒸发,在CNT膜中留下能有效提高气体吸附面积的丰富间隙。半导体特性分析仪分析表明,CNT膜气敏传感器经300℃烧结后在室温条件下,电容和电导对乙醇的灵敏度分别为198%和197%。