掺杂Al2O3纳米粉对ZnO厚膜气敏传感器性能的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2006年第4期
论文作者：孙海燕 伦宁 李梅 崔得良 徐红燕
关键词：ZnO厚膜气敏传感器; Al2O3掺杂; 本征电阻; 灵敏度;
摘 要：以ZnO纳米粉(平均粒径30 nm)和Al2O3纳米粉(平均粒径5 nm)为原料,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺制备了纯ZnO厚膜气敏传感器和掺杂Al2O3(掺杂量为2wt%和5wt%)的ZnO厚膜气敏传感器.对这三种厚膜传感器的本征电阻及对乙醇蒸汽的敏感特性进行了测试.结果表明:掺杂少量Al2O3纳米粉可明显降低ZnO气敏传感器的本征电阻,改善传感器的烧结性能,同时还可降低其最佳工作温度,提高器件对乙醇的灵敏度.结合厚膜气敏传感器的显微结构分析结果,对出现上述差异的原因进行了讨论.
孙海燕1，伦宁2，李梅1，崔得良1，徐红燕1
(1.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;
2.山东大学材料科学与工程学院,济南,250100)
摘要:以ZnO纳米粉(平均粒径30 nm)和Al2O3纳米粉(平均粒径5 nm)为原料,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺制备了纯ZnO厚膜气敏传感器和掺杂Al2O3(掺杂量为2wt%和5wt%)的ZnO厚膜气敏传感器.对这三种厚膜传感器的本征电阻及对乙醇蒸汽的敏感特性进行了测试.结果表明:掺杂少量Al2O3纳米粉可明显降低ZnO气敏传感器的本征电阻,改善传感器的烧结性能,同时还可降低其最佳工作温度,提高器件对乙醇的灵敏度.结合厚膜气敏传感器的显微结构分析结果,对出现上述差异的原因进行了讨论.
关键词:ZnO厚膜气敏传感器; Al2O3掺杂; 本征电阻; 灵敏度;
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