气敏传感器的发展
来源期刊:材料导报2003年第1期
论文作者:吴霞宛 胡明 陈长庆
关键词:MEMS; 声表面波; 石英微天平; 气敏传感器;
摘 要:综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍.
吴霞宛1,胡明1,陈长庆1
(1.天津大学电信学院,天津,300072)
摘要:综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍.
关键词:MEMS; 声表面波; 石英微天平; 气敏传感器;
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