氧化物半导体气敏传感器的改性研究进展
来源期刊：功能材料2014年第17期
论文作者：朱琴 张裕敏 胡昌义 张瑾 柳清菊
文章页码：17017 - 17021
关键词：氧化物半导体;改性;气敏传感器;研究进展;
摘 要：氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。综述了新型氧化物半导体气敏感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势。
朱琴1，张裕敏1，胡昌义2，张瑾1，柳清菊1
1. 云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室2. 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
摘 要：氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。综述了新型氧化物半导体气敏感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势。
关键词：氧化物半导体;改性;气敏传感器;研究进展;
