半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展
来源期刊：功能材料2004年第1期
论文作者：余萍 肖定全 杨志华
关键词：薄膜; 气敏传感器; 半导体金属氧化物; 陶瓷;
摘 要：半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一.本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向.
余萍1，肖定全1，杨志华1
(1.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064)
摘要:半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一.本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向.
关键词:薄膜; 气敏传感器; 半导体金属氧化物; 陶瓷;
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