独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（上）
来源期刊：稀有金属与硬质合金1994年第4期
论文作者：李汉广
关键词：独联体国家;难熔金属;氟化物;化学气相沉积;
摘 要：介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。
李汉广
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