类金刚石薄膜在油和水润滑下与氮化硅和316L钢材料的摩擦性能研究(英文)

来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第S2期

论文作者：白越

文章页码：533 - 536

关键词：类金刚石薄膜;氮化硅;摩擦;磨损;水;油;

摘    要：采用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）方法在316L钢衬底上沉积类金刚石薄膜,比较类金刚石薄膜在油和水润滑下分别与氮化硅和316L钢材料对磨的摩擦和磨损性能。实验结果显示:类金刚石/氮化硅摩擦对偶在合成油的润滑下具有最低的摩擦系数和磨损率;在空气中的摩擦系数和磨损量相比,类金刚石/氮化硅摩擦对偶添加合成油减小了45.8%的摩擦系数和94.4的磨损量。添加蒸馏水可以有效减小类金刚石薄膜的摩擦系数和磨损量,与空气中的摩擦系数相比,类金刚石/氮化硅摩擦对偶和类金刚石/316L钢摩擦对偶在蒸馏水润滑下的摩擦系数分别减小了44.8%和51.3%。在对磨损要求较为宽松的应用场合,蒸馏水可以为类金刚石/氮化硅摩擦对偶和类金刚石/316L钢摩擦对偶提供足够的润滑。