掺杂类金刚石薄膜制备及其摩擦性能的仿真研究

来源期刊：材料科学与工程学报2019年第2期

论文作者：张岩 肖万伸

文章页码：271 - 600

关键词：类金刚石薄膜;夹杂;分子动力学;快速淬火;摩擦力;

摘    要：在分子动力学（Molecular dynamics,MD）仿真中利用高温加热和快速淬火,模拟制备出分别含有Cu或Si夹杂的类金刚石（DLC）薄膜,再通过刚性压头对表面的磨损,研究了夹杂含量（0%～30%）及位置分布（上、中、下）对材料摩擦性能的影响。仿真制备出的DLC薄膜密度为2.79g/cm³,sp²、sp³杂化比例分别为36%、62%。摩擦结果表明,对于含Si-DLC复合薄膜,Si-C原子成键影响了材料中sp³杂化比例,造成摩擦力随着夹杂含量的增加而下降;含Cu-DLC复合薄膜中Cu与C不成键,但一定量的Cu原子能够积聚造成滚珠效应,其摩擦力随夹杂含量增加先增后减。当两种夹杂仅分布在薄膜被摩擦的表面区域时,摩擦力均随夹杂含量的增加而下降;而分布在薄膜中间或底层时,表面的形变受到结构的阻碍难于传播到稍远的中间位置或最底层,因此,当中间层和最低层的夹杂含量改变时对表面磨擦性能的影响不大。