掺杂氟对类金刚石薄膜的影响
来源期刊：材料导报2002年第4期
论文作者：唐雄心 赵建生
关键词：氟; 氟化类金刚石薄膜;
摘 要：综述了氟化类金刚石薄膜(FDLC)的近期进展,重点介绍搀杂氟对类金刚石薄膜在结构、性能及沉积工艺上所带来的影响.
唐雄心1，赵建生1
(1.华中科技大学材料学院,武汉,430074)
摘要:综述了氟化类金刚石薄膜(FDLC)的近期进展,重点介绍搀杂氟对类金刚石薄膜在结构、性能及沉积工艺上所带来的影响.
关键词:氟; 氟化类金刚石薄膜;
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