SiC/DLC过渡层对类金刚石薄膜力学性能的影响

饶倩¹，张腾飞¹，李雪源²，杨文茂²，冷永祥¹，黄楠¹

1. 西南交通大学材料科学与工程学院材料先进技术教育部重点实验室2. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

摘 要：采用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备了类金刚石薄膜和含有SiC/DLC过渡层的类金刚石薄膜。采用拉曼光谱及扫描电子显微镜分析了薄膜的成分和结构,并利用超显微硬度计、薄膜结合力测试仪和往复式摩擦实验机研究了薄膜的硬度、韧性、膜/基结合力和耐磨性。研究结果表明,SiC/DLC过渡层可以提高钛合金(Ti6Al4V)表面类金刚石薄膜的韧性及膜/基结合力,与未制备过渡层的类金刚石薄膜相比,含有SiC/DLC过渡层的类金刚石薄膜的耐磨性明显提高。

关键词：SiC/DLC;过渡层;类金刚石薄膜;硬度;韧性;耐磨性;