类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展
来源期刊：材料科学与工程学报2004年第5期
论文作者：徐洮 陈建敏 李振军 周惠娣 李红轩 郝俊英
关键词：类金刚石薄膜; 摩擦学特性; 磨损机制; 化学气相沉积;
摘 要：类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜(DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法.本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响,概述了其摩擦磨损机理,同时探讨了进一步研究工作的方向.
徐洮1，陈建敏1，李振军1，周惠娣1，李红轩1，郝俊英1
(1.中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000)
摘要:类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜(DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法.本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响,概述了其摩擦磨损机理,同时探讨了进一步研究工作的方向.
关键词:类金刚石薄膜; 摩擦学特性; 磨损机制; 化学气相沉积;
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