类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备技术与各种特性
来源期刊：超硬材料工程2004年第6期
论文作者：田中章浩
关键词：类金刚石薄膜;金刚石薄膜;等离子体CVD;离子束沉积;等离子体离子注入;磁控溅射;摩擦;磨损;硬度;
摘 要：类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性 ,其开发研究已引起人们的极大关注。文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说。
田中章浩
摘 要：类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性 ,其开发研究已引起人们的极大关注。文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说。
关键词：类金刚石薄膜;金刚石薄膜;等离子体CVD;离子束沉积;等离子体离子注入;磁控溅射;摩擦;磨损;硬度;
