AISI 316L不锈钢表面沉积Ti掺杂类金刚石薄膜及其性能

王玲^1,2，张洁^3,4，李林枝¹，常大宇¹，龙航宇²，谢友能²

1. 吕梁学院化学化工系2. 中南大学材料科学与工程学院3. 中南大学湘雅医院4. 长沙市口腔医院

摘 要：为了进一步评价医用材料AISI 316L不锈钢表面沉积掺杂Ti类金刚石薄膜的应用性能,采用离子束辅助沉积技术在AISI 316L不锈钢表面沉积了掺杂Ti类金刚石（DLC-Ti）薄膜。分别利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、摩擦磨损试验机、电化学工作站及纳米压痕仪对DLC-Ti薄膜的晶体结构,表面与截面形貌,摩擦磨损性能,电化学性能,硬度和弹性模量进行了表征。结果表明:DLC-Ti薄膜的摩擦系数超低（0.017⁰.029）且未出现磨损,自腐蚀电位和点蚀电位相对于基体向正电位方向移动。DLC-Ti薄膜综合性能较好,在整形外科及刀具等应用方面具有很好的前景。

关键词：离子束辅助沉积;Ti掺杂类金刚石薄膜;摩擦系数;耐蚀性;AISI 316L不锈钢;