工艺因素对TiAlN多元涂层成分的影响
来源期刊：兵器材料科学与工程2000年第5期
论文作者：夏立芳 雷廷权 熊仁章
关键词：多弧离子镀; TiAlN涂层; 成分;
摘 要：用多弧离子镀方法制备了不同成分的TiAlN多元涂层,研究并讨论了沉积工艺参数对涂层成分的影响规律和影响机理,探讨了涂层成分的控制方法.
夏立芳1，雷廷权1，熊仁章2
(1.哈尔滨工业大学;
2.兵器工业第五二所宁波分所)
摘要:用多弧离子镀方法制备了不同成分的TiAlN多元涂层,研究并讨论了沉积工艺参数对涂层成分的影响规律和影响机理,探讨了涂层成分的控制方法.
关键词:多弧离子镀; TiAlN涂层; 成分;
【全文内容正在添加中】
