钛合金表面多弧离子镀TiAlN薄膜微观组织结构及性能研究

来源期刊：热喷涂技术2012年第3期

论文作者：袁建鹏

文章页码：84 - 88

关键词：多弧离子镀;TiAlN涂层;TC11钛合金;微观结构;性能;

摘    要：采用多弧离子镀技术在TC11钛合金基体上沉积了TiAlN涂层。金相截面组织观察和扫描电镜表面形貌照片显示,制备出的膜层连续、光滑、孔隙率低、组织致密;X射线衍射分析表明,膜层的相结构中大致含有以下组成相:(Ti,Al)N、Ti2AlN、Ti。用EDS能谱分析对膜层中的元素含量进行了测定,发现Al元素出现了成分负偏析。性能测试表明,TiAlN膜具有较高的硬度和膜/基结合力。