简介概要

Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀沉积过程的模拟研究

来源期刊：机械设计与制造2007年第5期

论文作者：张震

文章页码：137 - 139

关键词：多弧离子镀;镀膜过程;Ti-Al-Zr靶材;成分;

摘要：本文模拟了Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀的镀膜过程。通过对圆柱形镀膜室-偏压电场的模拟,讨论了在不同的偏压电场下粒子的运动特性、成分离析效应的影响因素、涂层成分均匀性的影响因素,模拟结果与实际的镀膜实验相符。

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张震²

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关键词：多弧离子镀;镀膜过程;Ti-Al-Zr靶材;成分;