低量程高线性压阻式微机械加速度传感器
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第2期
论文作者：沈绍群 陆德仁 金虎 鲍敏杭
关键词：加速度传感器; 压阻式; 横向效应; 空气阻尼;
摘 要：介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面， 沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改 善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )，线性度优 于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
沈绍群1，陆德仁2，金虎2，鲍敏杭1
(1.复旦大学电子工程系 ,;
2.中国科学院上海冶金研究所)
摘要:介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面， 沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改 善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )，线性度优 于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
关键词:加速度传感器; 压阻式; 横向效应; 空气阻尼;
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