高精度硅压阻式气压计设计

高磊¹，马英辉²，刘祎¹，毛万华³

1. 宿迁学院机电工程系2. 宿迁学院计算机科学与技术系3. 南京航空航天大学理学院

摘 要：针对硅压阻式气压传感器因温漂、离散性大而使其应用受限的问题,设计了一种高精度硅压阻式数字气压计。该气压计采用全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿和线性化处理,解决了硅压阻式气压传感器的温漂和非线性问题;在ATmega88PA微控制器内采用软件实现压力数据的温度补偿,并通过RS485接口将数据发送给上位机。测试结果表明,在-40～+60℃范围内,该气压计测量误差在0.50‰以内,满足设计要求。

关键词：气压计;硅压阻式气压传感器;曲面拟合;温度补偿;