一种硅微压阻式压力传感器的研究

来源期刊：机械设计与制造2012年第1期

论文作者：刘珍妮 谭晓兰 杨峻松

文章页码：103 - 105

关键词：微压力传感器;压敏电阻;弹性膜片;仿真;

摘    要：研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器,同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构,并对圆形膜片与方形膜片进行了比较,同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计算,确定了压敏电阻最佳放置位置,来提高灵敏度;并在各个不同的压力下仿真出应力分布图、得出输入—输出关系图及应力峰值。研究为压阻式微压力传感器的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考。