硅压阻式传感器的优化分析
来源期刊：北方工业大学学报2011年第3期
论文作者：杨峻松 谭晓兰 刘珍妮 张敏亮 王峰
文章页码：29 - 36
关键词：压力传感器;晶向;方向余弦;纵向压阻系数;横向压阻系数;
摘 要：硅压阻式微传感器的压力灵敏度除与硅膜片的厚度、大小、压敏电阻阻值大小有关外,还与电阻在硅膜片的分布方位及在硅膜片上的位置有关.本文讨论了压敏电阻构成的电桥电路其输出电压灵敏度与电阻所处位置和方向的关系,求出传感器的压力灵敏度极值及其条件,并讨论了电阻的纵向压阻系数和横向压阻系数与方向的关系,并求出其极值.
杨峻松，谭晓兰，刘珍妮，张敏亮，王峰
北方工业大学机电工程学院
摘 要：硅压阻式微传感器的压力灵敏度除与硅膜片的厚度、大小、压敏电阻阻值大小有关外,还与电阻在硅膜片的分布方位及在硅膜片上的位置有关.本文讨论了压敏电阻构成的电桥电路其输出电压灵敏度与电阻所处位置和方向的关系,求出传感器的压力灵敏度极值及其条件,并讨论了电阻的纵向压阻系数和横向压阻系数与方向的关系,并求出其极值.
关键词：压力传感器;晶向;方向余弦;纵向压阻系数;横向压阻系数;
