碳纳米管压力传感器研究进展
来源期刊：功能材料与器件学报2011年第3期
论文作者：张锦文 李伟
文章页码：253 - 257
关键词：碳纳米管;压力传感器;压阻特性;场发射特性;温敏特性;
摘 要：碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较。
张锦文1，李伟1,2
1. 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室2. 北京大学深圳研究生院
摘 要：碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较。
关键词：碳纳米管;压力传感器;压阻特性;场发射特性;温敏特性;
