耐高温压力传感器的设计研究
来源期刊：机械设计与制造2008年第10期
论文作者：陈雨 杨继昌 丁建宁
文章页码：19 - 21
关键词：耐高温压力传感器;力敏电阻;芯片;优化;
摘 要：借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型。利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨了简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据。
陈雨，杨继昌，丁建宁
摘 要：借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型。利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨了简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据。
关键词：耐高温压力传感器;力敏电阻;芯片;优化;
