MEMS压阻式加速度传感器的研究进展
来源期刊：采矿技术2008年第4期
论文作者：范树新 耿振亚 聂丽梅
文章页码：120 - 268
关键词：MEMS压阻式加速度传感器;研究现状;发展趋势;
摘 要：介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
范树新，耿振亚，聂丽梅
摘 要：介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
关键词：MEMS压阻式加速度传感器;研究现状;发展趋势;
