不锈钢表面TiN、TiO₂涂层化学气相沉积制备及抑焦性能研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2016年第12期

论文作者：胡生望 刘斌 唐石云 朱权 王健礼 张其翼 李象远

文章页码：3121 - 3127

关键词：化学气相沉积;TiN、Ti O₂涂层;热裂解;结焦;结焦抑制;

摘    要：为抑制不锈钢材料表面催化结焦,采用常压化学气相沉积法,实现了在10 mm×10 mm×0.9 mm的310S型不锈钢试样表面TiN和TiO₂涂层沉积,沉积温度为850℃,时间为2.5 h。通过SEM、EDS和XRD分析了涂层的形貌特征和组织结构,结果显示,TiN和TiO₂涂层表面均匀完整,粒子结合紧密;氮化钛为立方晶相结构,Ti和N原子比约为1:1,氧化钛的组成为TiO_1.7。分别以正己烷、环己烷、苯和RP-3为原料,采用自制的常压裂解装置对2种涂层的抑焦效果进行了评价,结果表明,TiN涂层对4种原料的结焦抑制率分别为99.91%,86.19%,72.36%和94.68%,而TiO₂涂层则为83.39%,85.77%,57.78%和68.57%,TiN涂层具有更优的抑焦性能;310S空白片表面以丝状焦为主,TiN和TiO₂涂层表面以吸附气相结焦为主。