MOCVD方法制备BeH2薄膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第8期
论文作者：张吉强 罗江山 罗炳池 吴卫东
文章页码：1483 - 1486
关键词：二叔丁基铍;薄膜;化学气相沉积;气相色谱;红外光谱;
摘 要：采用二叔丁基铍（t-Bu2Be.Et2O）蒸气在加热的衬底上以热解的方式制备透明的BeH2薄膜。通过加热BeH2薄膜并借助氢气气相色谱仪探测到了薄膜释放的H2。X射线光电子能谱分析表明,薄膜表面层几乎完全被氧化成BeO。傅里叶变换红外光谱显示存在强烈的BeHBe键弯曲振动吸收峰。因此,二叔丁基铍在加热的基片上以分解的方式能够制备出BeH2薄膜。
张吉强，罗江山，罗炳池，吴卫东
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘 要：采用二叔丁基铍（t-Bu2Be.Et2O）蒸气在加热的衬底上以热解的方式制备透明的BeH2薄膜。通过加热BeH2薄膜并借助氢气气相色谱仪探测到了薄膜释放的H2。X射线光电子能谱分析表明,薄膜表面层几乎完全被氧化成BeO。傅里叶变换红外光谱显示存在强烈的BeHBe键弯曲振动吸收峰。因此,二叔丁基铍在加热的基片上以分解的方式能够制备出BeH2薄膜。
关键词：二叔丁基铍;薄膜;化学气相沉积;气相色谱;红外光谱;
