无氢化学气相沉积法制备碳纳米管
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第4期
论文作者：陈松 雷达 王维彪 姜锦秀 刘丽丽 梁静秋 陈明 夏玉学
关键词：无氢化学气相沉积; 碳纳米管; 催化剂;
摘 要：采用无氢的化学气相沉积法(CVD)进行碳纳米管的制备技术研究,并成功地制备了φ20～φ80nm左右,长度为50～100μm左右的碳纳米管.通过改变气体的流量等影响因素实现了定向碳纳米管薄膜和多层碳纳米管薄膜以及其它各种形态的碳纳米管的制备.采用微区Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法对产物的形貌和结构进行了表征,结果表明采用无氢CVD法可以制备出多种形态的碳纳米管.
陈松1，雷达1，王维彪1，姜锦秀1，刘丽丽1，梁静秋1，陈明1，夏玉学1
(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;
2.中国科学院研究生院,北京,100039;
3.东北师范大学,长春,130024;
4.哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001)
摘要:采用无氢的化学气相沉积法(CVD)进行碳纳米管的制备技术研究,并成功地制备了φ20～φ80nm左右,长度为50～100μm左右的碳纳米管.通过改变气体的流量等影响因素实现了定向碳纳米管薄膜和多层碳纳米管薄膜以及其它各种形态的碳纳米管的制备.采用微区Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法对产物的形貌和结构进行了表征,结果表明采用无氢CVD法可以制备出多种形态的碳纳米管.
关键词:无氢化学气相沉积; 碳纳米管; 催化剂;
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