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简介概要

贵金属化学气相沉积的研究进展

来源期刊：贵金属2005年第2期

论文作者：欧阳远良 陈松 胡昌义 王云 戴姣燕

关键词：金属材料; 贵金属薄膜和涂层; 化学气相沉积; 前驱体; 应用;

摘    要：简要介绍了贵金属薄膜和涂层材料化学气相沉积(CVD)技术的研究进展,包括贵金属的CVD制备方法、沉积贵金属的各种前驱体化合物以及CVD制备的贵金属薄膜和涂层的应用状况等.

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