类金刚石薄膜的气相沉积新型工艺发展
来源期刊：材料导报2014年第S1期
论文作者：梅倩 赵斌元 李荣斌 赖弈坚 王垒 张静
文章页码：94 - 99
关键词：类金刚石薄膜;气相沉积;微波电子回旋等离子体;真空磁过滤弧沉积;
摘 要：类金刚石薄膜有着与金刚石薄膜相近的优异性能,且其制备条件相对而言比较温和,因此其制备工艺的发展一直得到广大研究者的关注。在各类型制备工艺中,低温气相沉积法由于其制备条件容易实现,生产设备可大规模生产化而得到了广泛的应用。简述了传统制备类金刚石薄膜的低温工艺,重点介绍了现阶段微波电子回旋等离子体沉积和真空磁过滤弧沉积等新型工艺发展现状。
梅倩1，赵斌元1，李荣斌2，赖弈坚1，王垒1，张静2
1. 上海交通大学材料科学与工程学院2. 上海电机学院机械学院
摘 要：类金刚石薄膜有着与金刚石薄膜相近的优异性能,且其制备条件相对而言比较温和,因此其制备工艺的发展一直得到广大研究者的关注。在各类型制备工艺中,低温气相沉积法由于其制备条件容易实现,生产设备可大规模生产化而得到了广泛的应用。简述了传统制备类金刚石薄膜的低温工艺,重点介绍了现阶段微波电子回旋等离子体沉积和真空磁过滤弧沉积等新型工艺发展现状。
关键词：类金刚石薄膜;气相沉积;微波电子回旋等离子体;真空磁过滤弧沉积;
