掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱研究
来源期刊：功能材料2001年第5期
论文作者：汤定元 夏义本 李志锋 郑国珍 史伟民 居建华 黄志明 张伟丽 王林军
关键词：类金刚石薄膜; 激光退火; 拉曼光谱; 热稳定性;
摘 要：采用功率密度分别为300、750和1500W/mm2的氩离子激光器,对由射频等离子化学气相沉积(RF-CVD)法制备的掺氮类金刚石薄膜进行了激光退火处理.并用傅立叶红外吸收光谱和显微Raman等手段,对所得样品进行了研究.结果表明:C-N键比C-H键更为稳定,一方面氮原子的引入制约了C-H键的生成,在激光退火中减少了因C-H键分解而引起薄膜的石墨化;另一方面生成的C-N键不易受热分解;因此随着氮含量的增加,薄膜中C-N成分增加,从而提高了类金刚石薄膜的热稳定性.
汤定元1，夏义本1，李志锋1，郑国珍1，史伟民3，居建华1，黄志明1，张伟丽3，王林军3
(1.中国科学院上海技术物理研究所;
2.上海大学材料科学与工程学院;
3.上海大学材料科学与工程学院,)
摘要:采用功率密度分别为300、750和1500W/mm2的氩离子激光器,对由射频等离子化学气相沉积(RF-CVD)法制备的掺氮类金刚石薄膜进行了激光退火处理.并用傅立叶红外吸收光谱和显微Raman等手段,对所得样品进行了研究.结果表明:C-N键比C-H键更为稳定,一方面氮原子的引入制约了C-H键的生成,在激光退火中减少了因C-H键分解而引起薄膜的石墨化;另一方面生成的C-N键不易受热分解;因此随着氮含量的增加,薄膜中C-N成分增加,从而提高了类金刚石薄膜的热稳定性.
关键词:类金刚石薄膜; 激光退火; 拉曼光谱; 热稳定性;
【全文内容正在添加中】
