环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响
来源期刊：材料科学与工程学报2005年第5期
论文作者：徐洮 陈丽 王立平 曾志翔 李红轩
关键词：DLC薄膜; 气氛; 摩擦系数; 转移层;
摘 要：用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC).采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度.通过控制摩擦环境气氛对DLC薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究.利用光学显微镜和扫描电镜(SEM)分析了磨痕及磨斑的形貌,对DLC薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释.结果表明,DLC薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2、H2O和N2有关,其中N2的存在是DLC薄膜具有超低摩擦系数的重要原因.
徐洮1，陈丽1，王立平1，曾志翔1，李红轩1
(1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC).采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度.通过控制摩擦环境气氛对DLC薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究.利用光学显微镜和扫描电镜(SEM)分析了磨痕及磨斑的形貌,对DLC薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释.结果表明,DLC薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2、H2O和N2有关,其中N2的存在是DLC薄膜具有超低摩擦系数的重要原因.
关键词:DLC薄膜; 气氛; 摩擦系数; 转移层;
【全文内容正在添加中】
