磁控溅射制备BiFeO3/Sr1-xLaxFe12-xCoxO19复合薄膜及其磁性能研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2017年第2期
论文作者：顾正飞 李振昕 江民红 李林 杜玉松 喻思力 潘旷 赵光乾
文章页码：415 - 420
关键词：磁控溅射;复合薄膜;表面形貌;磁性能;
摘 要：室温下采用射频磁控溅射法,在P型<100>Si基衬底上分别制备了BiFeO3（BFO）和Sr1-xLaxFe12-xCoxO19（x=00.3）的单层及2-2型BiFeO3/Sr1-xLaxFe12-xCoxO19叠层式复合结构薄膜。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和材料综合物性测试系统（PPMS）对薄膜样品的微观结构、表面形貌以及磁学性能进行了测试分析。结果表明,随着x的增加,Sr1-xLaxFe12-xCoxO19单层膜的矫顽力先少量减小后增加,剩磁比起初不变然后递增,而剩余磁化强度一直减小。当x=0.3时,其矫顽力和剩磁比均达到最大值,分别为491 kA/m和0.69,而剩余磁化强度达到最小值为50（A·m2）/kg;复合薄膜的矫顽力及剩磁比先增加后减小,剩余磁化强度一直减小,在x=0.2矫顽力和剩磁比均达到最大值,分别为425 kA/m和0.73,当x=0.3时矫顽力和剩磁比明显减弱,分别为171 kA/m和0.4,此时剩余磁化强度为最小值19（A·m2）/kg。
顾正飞，李振昕，江民红，李林，杜玉松，喻思力，潘旷，赵光乾
桂林电子科技大学
摘 要：室温下采用射频磁控溅射法,在P型<100>Si基衬底上分别制备了BiFeO3（BFO）和Sr1-xLaxFe12-xCoxO19（x=00.3）的单层及2-2型BiFeO3/Sr1-xLaxFe12-xCoxO19叠层式复合结构薄膜。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和材料综合物性测试系统（PPMS）对薄膜样品的微观结构、表面形貌以及磁学性能进行了测试分析。结果表明,随着x的增加,Sr1-xLaxFe12-xCoxO19单层膜的矫顽力先少量减小后增加,剩磁比起初不变然后递增,而剩余磁化强度一直减小。当x=0.3时,其矫顽力和剩磁比均达到最大值,分别为491 kA/m和0.69,而剩余磁化强度达到最小值为50（A·m2）/kg;复合薄膜的矫顽力及剩磁比先增加后减小,剩余磁化强度一直减小,在x=0.2矫顽力和剩磁比均达到最大值,分别为425 kA/m和0.73,当x=0.3时矫顽力和剩磁比明显减弱,分别为171 kA/m和0.4,此时剩余磁化强度为最小值19（A·m2）/kg。
关键词：磁控溅射;复合薄膜;表面形貌;磁性能;
