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磁控溅射制备钛基薄膜研究进展

来源期刊：热喷涂技术2020年第2期

论文作者：迟迅宋长虹鲍君峰高陟任鑫明马北越

文章页码：17 - 21

关键词：磁控溅射;钛基薄膜;研究进展;

摘要：磁控溅射技术是制备钛基薄膜常用的方法。本文综述了磁控溅射法的基本原理、特点及方法种类,并总结了磁控溅射法制备TiO₂、TiN、TiC薄膜和Ti复合薄膜的最新研究进展,最后展望了磁控溅射技术制备Ti基薄膜的发展方向。

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迟迅¹，宋长虹¹，鲍君峰^2,3，高陟⁴，任鑫明⁴，马北越⁴

1. 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司2. 北京科技大学新材料技术研究院3. 矿冶科技集团有限公司4. 东北大学冶金学院

关键词：磁控溅射;钛基薄膜;研究进展;