磁控溅射和能量过滤磁控溅射TiO₂薄膜结构和光学性质的对比研究

来源期刊：功能材料2018年第7期

论文作者：赵遵杰 王朝勇 吴丹 张世慧 夏雨 姚宁

文章页码：7088 - 7092

关键词：磁控溅射;能量过滤磁控溅射;TiO2薄膜;光学性质;椭偏光谱仪;

摘    要：磁控溅射是一种广泛应用的薄膜制备技术。能量过滤磁控溅射是对磁控溅射技术加以改进后的一种薄膜制备技术。通过改变能量过滤磁控溅射技术过滤电极网孔大小制备TiO₂薄膜,研究了网孔目数对薄膜物相结构、表面形貌以及光学性质的影响,并与磁控溅射技术制备的TiO₂薄膜进行了对比研究。结果表明:（1）能量过滤磁控溅射技术较磁控溅射技术所制备薄膜的结构均匀性更加优异,薄膜的透射率由86.5%增大到91.4%、波长500nm处折射率由1.61增加到1.68、波长300nm处消光系数由0.42降低到0.12;（2）能量过滤磁控溅射技术过滤电极网孔目数不同时薄膜的结晶性能、表面粗糙度以及光学性质均存在差异,且随网孔目数的增加呈周期性变化;（3）过滤电极网孔目数为8目时,薄膜的结晶性能较好、薄膜较为均匀、透射率较高,为91.4%。