HWP-CVD氮化硅薄膜的结构和光学特性
来源期刊：无机材料学报2004年第4期
论文作者：王华英 何杰 侯海虹 于威 傅广生
关键词：氮化硅薄膜; 光学特性; 螺旋波等离子体增强化学气相沉积;
摘 要：采用傅立叶红外吸收谱和紫外-可见透射谱研究了螺旋波等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化非晶氮化硅薄膜的原子间键合结构和光学特性.结果表明,在不同硅、氮活性气体配比R下,薄膜表现出不同的Si/N比和H原子键合方式,富氮样品中H原子主要和N原子结合,而富硅样品中主要和Si原子结合.随着R的增加,薄膜的光学带隙Eg和E04逐渐减小,此结果关联于薄膜结构无序性程度的增加,而薄膜的(E04-Eg)和Tauc斜率B值之间存在着相互制约关系.
王华英1，何杰2，侯海虹2，于威2，傅广生2
(1.河北建筑科技学院数理部,邯郸,056000;
2.河北大学物理科学与技术学院,保定,071002)
摘要:采用傅立叶红外吸收谱和紫外-可见透射谱研究了螺旋波等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化非晶氮化硅薄膜的原子间键合结构和光学特性.结果表明,在不同硅、氮活性气体配比R下,薄膜表现出不同的Si/N比和H原子键合方式,富氮样品中H原子主要和N原子结合,而富硅样品中主要和Si原子结合.随着R的增加,薄膜的光学带隙Eg和E04逐渐减小,此结果关联于薄膜结构无序性程度的增加,而薄膜的(E04-Eg)和Tauc斜率B值之间存在着相互制约关系.
关键词:氮化硅薄膜; 光学特性; 螺旋波等离子体增强化学气相沉积;
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