高纯钨研究现状及制备工艺方法综述
来源期刊：粉末冶金技术2012年第3期
论文作者：刘文胜 龙路平 马运柱
文章页码：223 - 228
关键词：高纯钨;微电子;钨靶;净化;精炼;
摘 要：高纯钨具有很高的附加价值,其市场前景与集成电路发展密切相关,高纯钨的净化是目前高纯钨生产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、制备工艺及其纯度表征,在此基础上进行了展望。
刘文胜，龙路平，马运柱
中南大学粉末冶金国家重点实验室
摘 要：高纯钨具有很高的附加价值,其市场前景与集成电路发展密切相关,高纯钨的净化是目前高纯钨生产中的重要研究课题。简要介绍了国内外高纯钨的生产现状、制备工艺及其纯度表征,在此基础上进行了展望。
关键词：高纯钨;微电子;钨靶;净化;精炼;
