氩气压强对不锈钢衬底NiCr薄膜性能的影响

来源期刊：材料导报2015年第S2期

论文作者：王河深 杨恢东 李姗 李心茹 吴浪

文章页码：213 - 477

关键词：射频磁控溅射;NiCr薄膜;不锈钢衬底;氩气压强;

摘    要：采用射频磁控溅射技术在不锈钢基底上制备NiCr金属薄膜,研究不同的氩气压强对样品形貌和光学、附着力性能的影响。结果表明:所制备的NiCr薄膜在中远红外区都具有较高的反射率,平均值约为0.92,附着力级别均能达到5B;氩气压强对薄膜的性能具有较大的影响,具体表现为:随着压强的增大,薄膜的结晶度先上升后下降,均匀性先变好后变坏,在压强为4Pa时薄膜质量最好。