p型透明导电CuAlO2薄膜的透光性能研究
来源期刊：材料导报2012年第12期
论文作者：汪立文 万蕴杰 高岭 董建新
文章页码：62 - 66
关键词：CAO薄膜;光学特性;透射率;
摘 要：CuAlO2(CAO)透明薄膜是一种铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜,该型薄膜样品的可见光透射率高达80%。随着基片温度的升高,薄膜的透射率减小;随着工作压强和靶基距的增大,薄膜的透射率增大;随着退火温度的升高,薄膜的透射率增大,有"蓝移"现象;随着溅射时间的延长,薄膜的透射率减小,也有"蓝移"现象。目前,利用该薄膜已成功制得了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO的应用前景。
汪立文1，万蕴杰2，高岭3，董建新3
1. 广州计量检测技术研究院2. 广东省建筑设计研究院3. 重庆大学理学院
摘 要：CuAlO2(CAO)透明薄膜是一种铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜,该型薄膜样品的可见光透射率高达80%。随着基片温度的升高,薄膜的透射率减小;随着工作压强和靶基距的增大,薄膜的透射率增大;随着退火温度的升高,薄膜的透射率增大,有"蓝移"现象;随着溅射时间的延长,薄膜的透射率减小,也有"蓝移"现象。目前,利用该薄膜已成功制得了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO的应用前景。
关键词：CAO薄膜;光学特性;透射率;
