掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究
来源期刊：无机材料学报2002年第1期
论文作者：郭玉忠 黄瑞安 王剑华 王贵青
关键词：Sb掺杂SnO2薄膜; 导电性测量; 透光率与反射率;
摘 要：通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达1020cm-3,电阻率～10-2Ω.cm,透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg≈3.7～3.80eV.
郭玉忠1，黄瑞安1，王剑华1，王贵青1
(1.昆明理工大学新材料制备与加工省重点实验室,昆明,650093)
摘要:通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达1020cm-3,电阻率～10-2Ω.cm,透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg≈3.7～3.80eV.
关键词:Sb掺杂SnO2薄膜; 导电性测量; 透光率与反射率;
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