ω扫描和φ扫描在薄膜结构表征中的应用

秦冬阳^1,2，卢亚锋²，张孔³，刘茜³，周廉²

1. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室2. 西北有色金属研究院3. 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室

摘 要：X射线衍射作为一种无损检测手段已经广泛应用于薄膜材料的结构分析和相分析。ω扫描和φ扫描都基于布拉格方程,可以对薄膜材料丝织构和面内织构进行表征。着重阐述了这两种扫描方式的X射线衍射几何、相关原理和在X射线四圆衍射仪实验过程中的实验参数设置,并介绍了它们的适用范围。最后列举了两种方法在金属薄膜、氧化物薄膜和半导体薄膜结构分析中的应用,显示出这两种表征手段在薄膜结构表征中的优势。

关键词：ω扫描;φ扫描;薄膜;织构;