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四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术研究

来源期刊：有色冶金节能2010年第6期

论文作者：陈彦汤传斌肖荣辉毋克力严大洲

文章页码：30 - 32

关键词：四氯化硅;三氯氢硅;氢化;

摘要：改良西门子法制备多晶硅存在的技术瓶颈是大量副产物四氯化硅难以回收利用。本文针对这一瓶颈,介绍了四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术,并研究了反应压力、氢气与四氯化硅配比、反应温度以及硅粉层高度对该技术转化率的影响。同时,还介绍了该技术在洛阳中硅高科技有限公司的应用实例。

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万烨，汤传斌，肖荣辉，毋克力，严大洲

中国恩菲工程技术有限公司

关键词：四氯化硅;三氯氢硅;氢化;