高纯三氯氢硅精制技术研究进展
来源期刊：有色冶金节能2017年第6期
论文作者：刘见华 赵雄 万烨 严大洲 赵宇 杨典
文章页码：52 - 55
关键词：三氯氢硅;反应精馏;提纯;吸附;
摘 要：三氯氢硅是西门子法生产多晶硅、集成电路用硅基电子气体和有机硅的重要原材料。随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质三氯氢硅已经成为一个研究热点,本文概述了精馏法、吸附法的机理及研究现状,重点介绍了反应精馏提纯三氯氢硅的研究现状和制备方法,并对高纯三氯氢硅提纯的前景进行了分析和展望。
刘见华1,2，赵雄1,2，万烨1,2，严大洲1,2，赵宇1，杨典1
1. 洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室2. 中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：三氯氢硅是西门子法生产多晶硅、集成电路用硅基电子气体和有机硅的重要原材料。随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质三氯氢硅已经成为一个研究热点,本文概述了精馏法、吸附法的机理及研究现状,重点介绍了反应精馏提纯三氯氢硅的研究现状和制备方法,并对高纯三氯氢硅提纯的前景进行了分析和展望。
关键词：三氯氢硅;反应精馏;提纯;吸附;
