三氯氢硅合成的热力学
来源期刊：有色金属(冶炼部分)2012年第9期
论文作者：彭如振 俞小花 谢刚 姚云
文章页码：55 - 127
关键词：三氯氢硅;热力学;产率;化学平衡;
摘 要：应用factsage软件研究三氯氢硅合成的复杂化学反应,绘制了体系中存在的8个化学反应的ΔG-T图。分析了当反应达到平衡,在0.01MPa、0.05 MPa和0.1 MPa以及进料比xHCl/xSi为1、3和6时,气相平衡组分分布与温度的关系。讨论了三氯氢硅产率随温度、压强及进料比xHCl/xSi的变化情况。结果表明,低温、高压和一定进料比xHCl/xSi对三氯氢硅合成过程有利。
彭如振1，俞小花1,2，谢刚2，姚云1
1. 昆明理工大学冶金与能源工程学院2. 云南冶金集团股份有限公司技术中心
摘 要：应用factsage软件研究三氯氢硅合成的复杂化学反应,绘制了体系中存在的8个化学反应的ΔG-T图。分析了当反应达到平衡,在0.01MPa、0.05 MPa和0.1 MPa以及进料比xHCl/xSi为1、3和6时,气相平衡组分分布与温度的关系。讨论了三氯氢硅产率随温度、压强及进料比xHCl/xSi的变化情况。结果表明,低温、高压和一定进料比xHCl/xSi对三氯氢硅合成过程有利。
关键词：三氯氢硅;热力学;产率;化学平衡;
