旋转镀膜铌靶材加工工艺研究
来源期刊：材料开发与应用2014年第6期
论文作者：张国军 汪凯 李桂鹏 任晓
文章页码：54 - 57
关键词：旋转镀膜铌靶材;工艺控制;晶粒尺寸;
摘 要：研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80%,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40—100μm。
张国军，汪凯，李桂鹏，任晓
宁夏东方钽业股份有限公司
摘 要：研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80%,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40—100μm。
关键词：旋转镀膜铌靶材;工艺控制;晶粒尺寸;
