溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析

李兆博^1,2,3，马小文^1,3，黄浩^1,3，杜领会^1,2,3，汪凯^2,3，李兴钰^1,3

1. 宁夏东方钽业股份有限公司2. 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属特种材料国家重点实验室3. 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心

摘 要：从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面对工业生产中溅射镀膜铌靶材表面纹路产生原因进行分析。结果表明,原材料的化学成分分布不均和杂质富集,经过后期的轧制加工,形成铌靶材表面规律性纹路;消除原材料成分分布不均和杂质富集,可避免铌靶材表面规律性纹路的形成。

关键词：溅射镀膜铌靶材;表面纹路;原因分析;