高纯钽溅射靶材制备工艺进展
来源期刊：湖南有色金属2016年第4期
论文作者：郑金凤 扈百直 杨国启 罗文 郑爱国
文章页码：54 - 136
关键词：钽溅射靶材;熔炼铸锭法;粉末冶金法;制备工艺;进展;
摘 要：目前高纯钽溅射靶材的制备方法,主要为熔炼铸锭法和粉末冶金法,文章对两种方法制备钽靶材性能的特点进行了详述,同时对粉末冶金法制备高纯钽靶材的试验结果进行分析。针对目前国内外生产状况,展望了未来高纯钽溅射靶材的发展方向。
郑金凤1,2，扈百直1,2，杨国启1,2，罗文1,2，郑爱国1,2
1. 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心2. 宁夏东方钽业股份有限公司
摘 要：目前高纯钽溅射靶材的制备方法,主要为熔炼铸锭法和粉末冶金法,文章对两种方法制备钽靶材性能的特点进行了详述,同时对粉末冶金法制备高纯钽靶材的试验结果进行分析。针对目前国内外生产状况,展望了未来高纯钽溅射靶材的发展方向。
关键词：钽溅射靶材;熔炼铸锭法;粉末冶金法;制备工艺;进展;
