Mo靶材组织对溅射薄膜形貌及性能的影响

来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第9期

论文作者：刘仁智 孙院军 王快社 安耿 李晶 王引婷

文章页码：1559 - 1563

关键词：钼靶材;溅射薄膜;形貌;方阻;

摘    要：将4种组织差异较大的钼靶材在同一溅射设备,同一溅射工艺下进行磁控溅射试验,对溅射后的靶材表面及薄膜表面、截面形貌及方阻进行检测,讨论并分析靶材微观组织对溅射过程及薄膜形貌、晶向、导电性能的影响。结果表明,不同组织靶材溅射的薄膜表面及截面形貌差异较小;靶材80%的晶粒尺寸小于50μm时,溅射薄膜沉积速率较快,方阻值的变化较小,薄膜厚度较均匀;钼靶材溅射薄膜的择优均为(110)取向,靶材组织对溅射薄膜的取向影响不大;靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,靶材减薄越均匀,靶材利用率越高。