钛酸锶钡薄膜C-V曲线不对称现象研究
来源期刊：功能材料2005年第11期
论文作者：胡立业 陈宏伟 符春林 杨传仁
关键词：钛酸锶钡; 薄膜; C-V曲线; 不对称; 界面;
摘 要：采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.
胡立业1，陈宏伟1，符春林1，杨传仁1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.
关键词:钛酸锶钡; 薄膜; C-V曲线; 不对称; 界面;
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